Графитовые пластины с прорезями для направления потока | Графитовые пластины высокой чистоты с прорезями, специально разработанные для полупроводникового вакуумного оборудования CVD - NHD Carbon

▍ Описание продукта

Графитовые пластины с прорезями представляют собой специальные графитовые подложки, независимо разработанные NHD Carbon Industries для вакуумного оборудования химического осаждения из паровой фазы полупроводников (CVD). В отличие от обычных плоских графитовых пластин, поверхность этих пластин подвергается прецизионному пятиосному фрезерованию на станке с ЧПУ для создания однородных параллельных каналов потока, близко расположенных канавок и трапециевидных путей потока. Такая конструкция обеспечивает равномерное рассеивание реакционных газов внутри камеры и стабильную передачу тепла, устраняя такие болевые точки отрасли, как неравномерное распределение газового потока и значительные отклонения в толщине покрытия пластин, а также быстрое локальное высокотемпературное окисление и износ. Эта рифленая графитовая пластина изготовлена ​​из графитового сырья высокой чистоты, полученного из игольчатого кокса Дацина. Он подвергается многократной вакуумной пропитке и высокотемпературной графитационной очистке при 2800°C, в результате чего содержание золы составляет всего 0,03%, а также не содержит металлических примесей, которые могли бы загрязнить кремниевые пластины. Он совместим как с небольшим лабораторным оборудованием CVD, так и с линиями нанесения покрытия на полупроводники массового производства. Все характеристики канавок, толщина пластин и глубина каналов потока могут быть изготовлены на заказ в соответствии с чертежами САПР оборудования заказчика.

Тонкая пластина с V-образной канавкой

Лист с плоскими канавками

Пара с глубокими V-образными канавками

▍ Основные характеристики продукта

1. Индивидуальная структура канавок: поддерживает обработку различных рисунков каналов потока, включая широкие прямоугольные каналы потока, мелкие зубчатые каналы потока, трапециевидные канавки и сегментированные канавки различной глубины. Расстояние, глубина и ширина канавок могут быть на 100% отрегулированы в соответствии с технологическими требованиями оборудования; Отфрезерованные как единое целое, стенки канавок гладкие и без заусенцев, что предотвращает попадание графитовой пыли в вакуумную камеру.

2. Подложка высокой чистоты с низким содержанием примесей: выбран изостатический графит сверхвысокой чистоты. Процесс очистки сырья удаляет металлические примеси, такие как железо, кремний и кальций, гарантируя отсутствие выбросов твердых частиц в условиях высоких температур и устраняя точечные отверстия и дефекты обесцвечивания на пластинах и оптических покрытиях.

3. Монолитные листы высокой плотности: общая плотность листов достигает 1,80–1,85 г/см³, с чрезвычайно низкой внутренней пористостью, что эффективно предотвращает проникновение агрессивных технологических газов в подложку и значительно продлевает срок службы листов.

4. Допуски на прецизионную обработку с ЧПУ: в нашем собственном отделочном цехе с ЧПУ допуски на размеры панелей и размеры пазов контролируются в пределах ±0,02 мм. Панели имеют высокую плоскостность, что обеспечивает идеальное прилегание к основанию внутри CVD-печи и обеспечивает равномерную теплопроводность без локальных перепадов температур.

5. Дополнительная антиокислительная упрочняющая обработка: для длительных, непрерывных высокотемпературных производственных условий можно нанести специальное антиокислительное пропиточное покрытие, которое повышает стойкость к окислению на 40% в вакууме при температуре 2000°C, тем самым сокращая время простоя и затраты, связанные с частой заменой панелей.

Плотная канавка, вид сверху

Угловая пластина с пазами

Край V-образной канавки крупным планом

▍ Ключевые преимущества продукта

1. Равномерное распределение потока газа повышает выход покрытия. Параллельные каналы потока на поверхности пластины распределяют реакционный газ по слоям, обеспечивая постоянную скорость потока газа по поверхности пластины. Благодаря этому отклонения толщины наносимой пленки остаются в пределах ±2%, что приводит к повышению производительности более чем на 15% по сравнению с плоскими графитовыми пластинами без каналов, тем самым значительно снижая производственные затраты клиентов.

2. Устойчивость к высоким температурам и термостойкость обеспечивают стабильную работу в условиях вакуума. Он выдерживает температуру до 3000°C в вакуумной среде и не трескается, не деформируется и не деформируется при повторяющихся температурных циклах, что делает его пригодным как для прерывистого, так и для 24-часового непрерывного режима производства на CVD-оборудовании.

3. Высокая устойчивость к кислотной и щелочной коррозии; совместим с различными технологическими газами. Устойчив к коррозии под действием водорода, аргона, силана и различных галогенидов; не разрушается и не превращается в порошок в агрессивных газовых средах. Подходит для широкого спектра процессов нанесения покрытий, включая пленки карбида кремния, нитрида галлия и оксида.

4. Полный спектр индивидуального производства для всех моделей оборудования. Ограничений по длине, ширине, толщине листа или шаблону прорезей нет. Будь то небольшие лабораторные прототипы, пилотные печи или крупномасштабное оборудование для CVD-осаждения для массового производства, мы можем предоставить изготовленные по индивидуальному заказу графитовые пластины со специальными пазами, что избавляет клиентов от необходимости соглашаться на стандартные стандартные детали.

5. Полный набор оригинальных отчетов о проверке качества от производителя обеспечивает беспрепятственное соблюдение экспортных требований. Каждая партия графитовых пластин с прорезями поставляется с отчетами о физических и химических испытаниях третьих сторон, включая данные о плотности, зольности, прочности на изгиб, а также коэффициентах электрической и теплопроводности, что соответствует стандартам контроля качества и аудита цепочек поставок зарубежных производителей полупроводников.

6. Стабильная производственная мощность; Мы принимаем заказы любого объема. Заказы на образцы начинаются от одной штуки, а наша ежемесячная производственная мощность для оптовых заказов составляет 50 000 единиц. Графитовые пластины с рифлением стандартной спецификации поставляются в течение 7–10 дней, а пластины с рифлением сложной формы, изготовленные по индивидуальному заказу, обрабатываются в течение 12–15 рабочих дней.

Длинная пластина с узкой канавкой

Панель со сверхтонкими канавками

Толстая пластина с широкой канавкой

▍ Технические характеристики продукта

Ниже приведены типичные технические характеристики; Также возможна настройка в соответствии с требованиями заказчика.

Пользовательские спецификации для листов и канавок

1. Размеры листа: Максимальные обрабатываемые размеры — 1200 × 800 мм (длина × ширина), толщина 3–50 мм;

2. Типы канавок: широкие прямоугольные канавки, канавки с мелкими зубьями, трапециевидные канавки для направления потока и сегментированные композитные канавки различной глубины;

3. Параметры канавки: ширина канавки 0,5–20 мм, глубина канавки 1–15 мм, расстояние между канавками настраивается по требованию;

4. Формы панелей: можно обрабатывать стандартные прямоугольные панели, панели с закругленными углами и графитовые панели с вырезами и канавками нестандартной формы.

▍ Сценарии применения продукта и их преимущества

• Система CVD (химического осаждения из паровой фазы)

Используется для выращивания тонких пленок, нанесения пассивирующего слоя и нанесения покрытий из оксида кремния/нитрида кремния.

Преимущества: Однородные каналы потока уравновешивают поток газа, повышая выход стружки. Подложки сверхвысокой чистоты                           предотвращают   загрязнение чипов.

• CVD-оборудование для вакуумного нанесения покрытия на оптические линзы

Подходит для тонкопленочного покрытия оптического стекла, линз и инфракрасных линз.

Преимущества: Тонкая неглубокая канавка снижает риск появления царапин на линзе; графит высокой чистоты предотвращает выщелачивание примесей, которые могут вызвать помутнение линз; Высокотемпературная термостабильность обеспечивает постоянство хроматических аберраций по всему покрытию.

• Малая лабораторная вакуумная печь CVD для исследований

Разработан специально для исследований и разработок новых материалов, а также экспериментов с тонкими пленками в университетах и ​​исследовательских институтах.

Преимущества: Поддержка настройки для небольших размеров и специальных канавок неправильной формы; обеспечивает быстрое прототипирование отдельных образцов; позволяет регулировать уровень чистоты графита в соответствии с требованиями исследований и разработок.

CVD трубчатая печь

Оптическое покрытие CVD

Лабораторный CVD-реактор

▍ Упаковка и логистика

1. Внутренняя защита: полностью упакован в индивидуальную пузырчатую пленку с мягкой пенопластовой прокладкой в ​​местах с прорезями для предотвращения ударов, царапин и повреждений стенок и углов прорезей во время транспортировки;

2. Внешняя упаковка: Ящик из утолщенной фанеры с внутренними фиксированными перегородками и влаго- и водостойким ламинированным покрытием, подходящий для экспорта морскими и воздушными перевозками;

3. Логистическая поддержка: поддерживает морские перевозки полных контейнеров, авиаперевозки небольших посылок и международную экспресс-доставку (DHL/FedEx/UPS). Деревянные ящики поставляются с отгрузочными отметками, упаковочными листами и отчетами об испытаниях материалов для упрощения таможенного оформления;

4. Защитные преимущества: Графит — хрупкий материал; Специальная амортизирующая упаковка предотвращает повреждения при транспортировке на большие расстояния, сокращая потери при доставке за границу и послепродажные расходы.

▍ Часто задаваемые вопросы

• Вопрос 1: Каковы основные преимущества рифленых графитовых пластин в оборудовании CVD по сравнению со стандартными плоскими графитовыми пластинами?

  A1: Стандартные плоские графитовые пластины могут вызвать локальное скопление газа внутри печи, что приведет к неравномерной толщине покрытия на кремниевых пластинах. Напротив, графитовые пластины с прорезями используют поверхностные каналы для равномерного распределения технологических газов, обеспечивая равномерное покрытие по всей подложке. Кроме того, щелевая структура увеличивает площадь рассеивания тепла, снижая скорость локализованного высокотемпературного окисления и эффективно продлевая срок службы.

  
  

• В2: Можете ли вы настроить рисунок канавок на основе чертежей САПР, предоставленных клиентами?

  А2: Абсолютно. Заказчики могут предоставить чертежи оборудования, образцы или параметры размеров канавок — любого из них будет достаточно. Наши технические инженеры подготовят чертеж подтверждения обработки, и производство начнется только после проверки. Мы можем изготовить сложные композитные пазы и пластины неправильной формы.

  
  

• В3: Может ли эта рифленая графитовая пластина подвергаться антиокислительной обработке? Является ли износ значительным при длительном массовом производстве?

  A3: Мы можем предоставить специализированную вакуумную высокотемпературную антиокислительную пропитку. После обработки срок службы щелевой графитовой пластины увеличивается на 40% при непрерывной работе при температуре 2000°С. По сравнению с обычным промышленным графитом, представленным на рынке, наша подложка высокой чистоты имеет меньшую пористость, что затрудняет проникновение газов внутрь, а цикл замены удваивается при нормальных условиях массового производства.

  
  

• Вопрос 4: Какова устойчивость графитовой пластины с прорезями к коррозии? С какими технологическими газами он совместим?

  A4: Сам основной материал обладает превосходной устойчивостью к кислотам, щелочам и галогенидам. Он совместим с силаном, водородом, аргоном, азотом и различными источниками паровой фазы металлорганических соединений, удовлетворяя требованиям подавляющего большинства технологических газовых сред CVD в полупроводниковых и оптических покрытиях.

  
  

• Вопрос 5. Могут ли графитовые пластины с прорезями сломаться во время транспортировки и как обращаться с поврежденными товарами?

  A5: Все графитовые пластины с прорезями защищены многослойной упаковкой, состоящей из индивидуальной пузырчатой ​​пленки, картонных коробок и фанерных ящиков с усиленными углами и краями. Если повреждение произойдет во время транспортировки, просто предоставьте фотографии повреждения, чтобы получить бесплатную замену. Заказы за рубежом сопровождаются комплексным послепродажным обслуживанием.